• 广西:警方揭露赌博“老千”  警示“十赌九输” 2019-12-09
  • 新时代 新作为 新篇章 2019-12-09
  • 青海:52个客运站卫生间将全面改造 2019-12-05
  • 2017年度国家社科基金基础类重大项目结项成果概述 2019-12-05
  • 全球最新私人飞机定制之旅来了!水晶天际1号即将首飞 2019-12-04
  • 坚持问题导向 从严整改到位 刘强来吉督导 胡世忠王少玄陪同 2019-11-29
  • 特朗普发推特相关新闻 2019-11-27
  • 晋中市直机关将开展纪念建党97周年“红色+”系列活动 2019-11-25
  • <这里是重庆>首播 带你游山玩水 通晓重庆趣闻 2019-11-25
  • 腐败分子是从一个鸡蛋开始的,在一定的位置有一定的权力,今天收别人一个鸡蛋没费任何力气,明天又有人送十个也不用力气。胃口就越来越大,感觉太多了一个人吃不了怕咽死, 2019-11-25
  • 2018第二届大同重机国际摩托车滚雷巡游节开幕 2019-11-23
  • 端午新经济体验无处不在 “指尖端午”玩出新花样 2019-11-23
  • 凝聚合作共赢的价值公约数 2019-11-20
  • 一语惊坛(5月21日):不忘初心,将改革开放进行到底,中国梦一定实现! 2019-11-20
  • 北京迎最年轻区长 43岁陈之常任石景山区代区长 2019-11-20
  • 三肖中特期期准免费丨 中国教育 高??萍?/a> 教育信息化 下一代互联网 CERNET 三肖中特期期准免费丨


    北京大学沈波教授团队“氮化物半导体大失配异质外延技术”获国家技术发明二等奖

      项目简介

      该项目属于电子与通信技术学科的半导体材料与器件技术方向。氮化物宽禁带半导体是实现短波长发光器件和高频大功率电子器件的核心材料体系,在半导体照明、新一代移动通讯、国防军工等领域有重大应用,是全球高技术竞争和战略性新兴产业发展的关键领域。

      氮化物半导体外延制备是器件和系统的基础和核心技术。由于GaN同质衬底的稀缺,迄今氮化物半导体制备的主流方法是蓝宝石等衬底上的异质外延,存在巨大的晶格失配和热膨胀系数失配,由此导致的外延材料中高缺陷密度成为氮化物半导体技术发展的关键瓶颈,需结合涉及大失配异质外延体系的衬底技术、外延技术及外延层/衬底相互作用规律加以解决。

      该项目在863、973等国家和地方科技计划的持续支持下,围绕蓝宝石衬底上氮化物半导体大失配异质外延的缺陷和应力控制这一重大问题开展了系统研究,发明了有效提升外延质量的图形化蓝宝石衬底(以下称为PSS)新技术和外延生长新方法,制备出质量指标国际领先的氮化物半导体外延材料,建立了较为完善的氮化物半导体/PSS大失配异质外延技术体系,并实现了大规模产业应用,有力推动了我国氮化物半导体乃至第三代半导体技术和产业的发展。


    北京大学沈波教授团队“氮化物半导体大失配异质外延技术”获国家技术发明二等奖

      技术发明点

      该项目主要技术发明点包括:

      (1)发明了光子准晶结构SiO2/Al2O3复合PSS技术,通过引入位错阻挡机制降低GaN缺陷密度、通过提高界面折射率差提升芯片光提取效率,产业应用统计数据表明新型PSS上LED芯片较常规PSS提高出光效率5~8%;

      (2)发明了一种刻蚀和沉积动态调控的二次掩膜PSS刻蚀方法,解决了刻蚀速率和刻蚀选择比难以同时提高的难题,刻蚀速率和选择比均比常规方法提升约1倍,进而实现了一套制造效率比常规技术提升约30%的PSS大规模产业化制备新技术和企业/地方标准;

      (3)发明了一种纳米PSS上AlN侧向外延方法,解决了PSS上AlN合拢厚度大、晶向扭曲严重的问题,AlN外延薄膜位错密度降至2.3×108 cm-2,是迄今国际报道最好水平,并研制出内量子效率位居国际前列的AlGaN深紫外发光量子阱结构;

      (4)发明了一种InN边界温度控制外延方法,解决了大失配条件下随外延厚度增加InN龟裂和质量退化问题,InN外延薄膜室温电子迁移率提高到3580 cm2/Vs,是迄今国际报道最高值。

      国际评价

      该项目成果得到了国际同行的高度评价。国际半导体技术权威评论网站《Semiconductor Today》对相关成果先后两次给予专门报道和评价。

      国际顶尖晶体生长专业期刊Cryst. Eng. Comm.先后两次以封面论文发表相关成果,包括诺贝尔奖获得者在内的多位该领域国际知名学者对该项目成果给予了引用或评价。

      项目成果共获得国家发明专利授权31件,发表SCI收录论文73篇,在该领域国际学术会议上做邀请报告25次。经中国电子学会鉴定认为“该项目成果技术创新特色突出,关键技术达到国际领先水平”。

      项目成果培育出目前全球规模最大,集PSS研发和生产为一体的高新技术企业,近三年累计销售超过12.7亿元,新增利润超过1.6亿元,占据国内市场份额40%以上,并大量出口海外名牌企业,实现了我国氮化物半导体及其量子结构外延用高品质PSS产业从无到有的跨越。

    教育信息化资讯微信二维码

    特别声明:本站注明稿件来源为其他媒体的文/图等稿件均为转载稿,本站转载出于非商业性的教育和科研之目的,并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载稿涉及版权等问题,请作者在两周内速来电或来函联系。

    高??萍计档懒档缁埃?10-62603071
    邮箱:zhangwj#cernet.com
    微信公众号:高??萍冀?/div>
  • 广西:警方揭露赌博“老千”  警示“十赌九输” 2019-12-09
  • 新时代 新作为 新篇章 2019-12-09
  • 青海:52个客运站卫生间将全面改造 2019-12-05
  • 2017年度国家社科基金基础类重大项目结项成果概述 2019-12-05
  • 全球最新私人飞机定制之旅来了!水晶天际1号即将首飞 2019-12-04
  • 坚持问题导向 从严整改到位 刘强来吉督导 胡世忠王少玄陪同 2019-11-29
  • 特朗普发推特相关新闻 2019-11-27
  • 晋中市直机关将开展纪念建党97周年“红色+”系列活动 2019-11-25
  • <这里是重庆>首播 带你游山玩水 通晓重庆趣闻 2019-11-25
  • 腐败分子是从一个鸡蛋开始的,在一定的位置有一定的权力,今天收别人一个鸡蛋没费任何力气,明天又有人送十个也不用力气。胃口就越来越大,感觉太多了一个人吃不了怕咽死, 2019-11-25
  • 2018第二届大同重机国际摩托车滚雷巡游节开幕 2019-11-23
  • 端午新经济体验无处不在 “指尖端午”玩出新花样 2019-11-23
  • 凝聚合作共赢的价值公约数 2019-11-20
  • 一语惊坛(5月21日):不忘初心,将改革开放进行到底,中国梦一定实现! 2019-11-20
  • 北京迎最年轻区长 43岁陈之常任石景山区代区长 2019-11-20
  • 体彩p3胆码 七乐彩走势图体坛 双色球3d试机号查询 合一亚洲群 悦动圈走路怎么赚钱 南粤体彩36选7走势图 新疆11选5前三 大乐透开奖时间 7天娱乐平台 华阳彩票游戏